GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-12 09:32:57 浏览:9300
来源:标准资料网
基本信息
| 标准名称： | 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 |
| 英文名称： | Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques |
| 中标分类： |
冶金 >>
金属理化性能试验方法 >>
金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： |
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| 替代情况： | 被GB/T 13388-2009代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1992-02-19 |
| 实施日期： | 1992-10-01 |
| 首发日期： | 1992-02-19 |
| 作废日期： | 2010-06-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 北京有色金属研究总院 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：6， 字数：7000 |
适用范围
本标准规定了用Ｘ射线技术测量硅片参考面结晶学取向的方法。本标准适用于硅片参考面结晶学取向与参考面规定取向之间角度偏差的测量。硅片直径为50～125mm，参考面长度为10～50mm。本标准不适用于硅片规定取向在与参考面和硅片表面相垂直的平面内的投影与硅片表面法线之间夹角不小于3°的硅片的测量。
前言
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所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属物理性能试验方法
MIL-I-24768 (SUPPLEMENT 1), INSULATION, PLASTICS, LAMINATED, THERMOSETTING; GENERAL SPECIFICATION FOR (25 FEB 1992)., This supplement forms a part of MIL-I-24768, dated 25 February 1992.【英文标准名称】:Geotechnicalinvestigationandtesting-Laboratorytestingofsoil-Part7:Unconfinedcompressiontestonfine-grainedsoil(ISO/TS17892-7:2004);GermanversionCENISO/TS17892-7:2004
【原文标准名称】:土工调查和试验.土壤的实验室试验.第7部分:细粒土的无侧限压缩试验
【标准号】:DINISO/TS17892-7-2005
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2005-01
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:土壤采样;土壤试验;定义;建筑;水;土壤;评定;土壤普查;试样;无侧限压缩试验;土方工程;抗压强度;压缩试验;调查;渗透率;实验室试验;试验;土工学
【英文主题词】:
【摘要】:ThisTechnicalSpecificationcoversthedeterminationofanapproximatevalueoftheunconfinedcompressivestrengthforasquareorcylindricalwater-saturatedhomogeneousspecimenofundisturbedorremouldedcohesivesoilofsufficientlylowpermeabilitytokeepitselfundrainedduringthetimeittakestoperformthetestwithinthescopeofgeotechnicalinvestigationsaccordingtoENV1997parts1and2.
【中国标准分类号】:P13
【国际标准分类号】:13_080_20;93_020
【页数】:12P;A4
【正文语种】:德语
